הויך טעמפּעראַטור וואַקוום קאַמפּאָונאַנץ
היץ באַהאַנדלונג דער הויפּט כולל אַקסאַדיישאַן, דיפיוזשאַן און אַנילינג פּראַסעסאַז.אָקסידאַטיאָן איז אַ אַדאַטיוו פּראָצעס אין וואָס סיליציום ווייפערז זענען געשטעלט אין אַ הויך-טעמפּעראַטור אויוון און זויערשטאָף איז צוגעלייגט צו רעאַגירן מיט זיי צו פאָרעם סיליקאַ אויף די ייבערפלאַך פון די וואַפער.דיפיוזשאַן איז צו אַריבערפירן סאַבסטאַנסיז פון די הויך קאַנסאַנטריישאַן געגנט צו די נידעריק קאַנסאַנטריישאַן געגנט דורך מאָלעקולאַר טערמאַל באַוועגונג, און די דיפיוזשאַן פּראָצעס קענען ווערן גענוצט צו פאַרמאַכן ספּעציפיש דאָפּינג סאַבסטאַנסיז אין די סיליציום סאַבסטרייט, און דערמיט טשאַנגינג די קאַנדאַקטיוואַטי פון סעמיקאַנדאַקטערז.
